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Schnelles Scannen Von Siliziumkarbid-Wafern Mit Dem PureFocus 850 Autofokussystem Von Prior Scientific

Schnelles Scannen von Siliziumkarbid-Wafern mit dem PureFocus 850 Autofokussystem von Prior Scientific

Der PureFocus 850 von Prior Scientific ist ein extrem vielseitiges Hardware-Autofokussystem, das eine Vielzahl von Bildgebungstechniken unterstützen kann. Bereits heute sind zahlreiche PureFocus 850-Autofokussysteme im Einsatz, die die Produktivität in Bereichen von der biologischen Forschung bis hin zum Scannen industrieller Komponenten steigern.

PureFocus 850 Autofokus: Vorteile für die Waferinspektion

Der PureFocus 850 ist für die Waferinspektion sehr effektiv und wurde mit besonderem Erfolg für die Analyse von defektselektivem Ätzen eingesetzt. Der PureFocus 850 hat es dem multinationalen Elektronik- und Halbleiterhersteller STMicroelectronics ermöglicht, eine Reihe von Herausforderungen zu überwinden, die mit herkömmlichen Autofokussystemen verbunden sind, und die Scanzeit pro Probe zu reduzieren. STMicroelectronics hat den PureFocus 850 mit einer automatischen Bilderkennungssoftware eingesetzt, um die Qualität von Siliziumkarbid-Wafern in seiner Produktionsstätte in Schweden zu analysieren.

Wenn die Waferqualität durch defektselektives Ätzen analysiert wird, entstehen Ätzgrübchen auf der Oberfläche des Siliziumkarbid-Wafers, und die Morphologie, Anzahl und Verteilung dieser Grübchen geben Aufschluss über die Art und Lage möglicher Defekte innerhalb einer Probe. Herkömmliche Laser-Autofokussysteme analysieren vom Zentrum des Sichtfeldes reflektierte Signale, um die optimale Fokusposition zu berechnen. Wenn die Probenoberfläche jedoch nicht eben ist, können Randbereiche des Bildes immer noch unscharf sein.

Der an STMicroelectronics gelieferte PureFocus 850 wurde kalibriert, um das vom gesamten Sichtfeld reflektierte Signal zu analysieren, so dass bei jedem Autofokus-Wafer-Scan eine kontinuierliche Scharfeinstellung sicher gestellt werden kann.

Die Bildanalyse wird durchgeführt, während man sich auf den Boden der Pits konzentriert, um ihre Morphologie zu analysieren, was bedeutet, dass die interessierende Bildebene sich von der Hauptreflexionsfläche des Siliziumkarbid-Wafers unterscheidet. Diese Analyse wird durch die motorisierte Optik des PureFocus 850 ermöglicht, die es erlaubt, die Abbildungsebene von der Waferoberfläche zu versetzen.

STMicroelectronics wollte außerdem sowohl Hellfeld- als auch Dunkelfeldbilder erzeugen, um die Bildanalyse zu unterstützen. Die intuitive PureFocus 850-Benutzeroberfläche ermöglichte es STMicroelectronics, die Autofokus-Einstellungen für jede Bildtechnik auf der Grundlage der Beleuchtungsintensität zu optimieren, anstatt einen Kompromiss zwischen den beiden zu finden.

PureFocus 850 Autofokus: Benutzer-Vorteile

Ingenieure, die den PureFocus 850 verwenden, halten ihn für ein hocheffektives Autofokussystem, das ihren Probendurchsatz bei der Probenanalyse drastisch verbessert.

Erik Sörman, ein Entwicklungsingenieur bei STMicroelectronics, sagte: „Ich benutze es für alle meine Routineinspektionen. Die Inspektionszeiten [wurden] von 45 Minuten auf 7 Minuten reduziert“.

 „Ich benutze es für alle meine Routineinspektionen. Die Inspektionszeiten [wurden] von 45 Minuten auf 7 Minuten reduziert“.

Der PureFocus 850 hat es den Ingenieuren ermöglicht, qualitativ hochwertigere Bilder mit einem Fokussierungsfehler von weniger als 10 Mikrometern bei einer 85%igen Reduzierung der Scanzeit zu erzielen.

Zuvor arbeitete er mit BergmanLabora AB, einem der führenden Anbieter von Analyseinstrumenten in Schweden, zusammen, um diese Autofokus-Lösung für STMicroelectronics bereitzustellen.

„Das PF850 ist eine hervorragende Ergänzung für jedes Mikroskop ohne Hardware-Autofokus“, sagte Produktspezialistin Marie Andersson, die als eine der ersten an den PureFocus 850-Schulungen von Prior teilnahm.

„Die Zeitersparnis für unsere Kunden ist unglaublich vorteilhaft. Auch die Installation und Wartung des PF850 war einfach, da die Schulung und der Support von Prior sehr gut und gründlich waren. Der PF850 ist einfach ein wirklich gutes Produkt!“

BergmanLabora AB hat seitdem weitere PureFocus 850 Autofokus-Systeme vorgestellt und an andere Anwender in der Region geliefert.

Zusammenfassung

Die Reichweite des PureFocus 850 geht weit über die Analyse von Siliziumkarbid-Autofokus-Wafern hinaus, und eine höhere Zeiteffizienz und verbesserte Bildqualität machen den PureFocus 850 zum Autofokussystem der Zukunft. Der PureFocus 850 ist in der Lage, den Durchsatz in einer Vielzahl von Anwendungen erheblich zu verbessern, und stellt eine vielseitige Bildanalyse-Hardware dar, die sich in vielen Branchen durchsetzen wird.

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